在湿法和干法脱硫技术基础上，结合湿法脱硫工艺反应充分、效率高，干法脱硫工艺投资少，无需废水处理的优势，开发出了半干法脱硫技术。它是除了湿法脱硫工艺之外，应用***广的脱硫技术，占市场份额的10%。半干法脱硫技术是将石灰浆液喷入反应塔中，借助烟气自身热量使吸收液中的水绝热蒸发后随烟气排出，烟气中SO2则以亚硫酸钙/硫酸钙的形式固定后外排，二氧化硫回收率达到90%以上。但设备投资成本高，建设周期长，不适合中小型工业锅炉脱硫改造使用。
